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無塵車間!

2019-07-30  來自: 惠州韌達(dá)納米科技有限公司 瀏覽次數(shù):1365

無塵車間,又稱潔凈室,潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

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每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方英寸1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

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而在派瑞林涂裝表面處理行業(yè),針對某些特定醫(yī)療領(lǐng)域產(chǎn)品的表面處理,甚至在涂裝前的處理無塵要求需要達(dá)到100級。


為證明潔凈室工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準(zhǔn)則的要求: 
1、潔凈室的送風(fēng)量充足,足以稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。 
2、潔凈室內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng),受污染空氣的流動(dòng)達(dá)到最低程度,空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動(dòng)方向正確。 
3、潔凈室的送風(fēng)不會顯著增加室內(nèi)的污染。 
4、室內(nèi)空氣的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。

 
如果潔凈室達(dá)到了上述這些準(zhǔn)則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時(shí)),以確定其達(dá)到了規(guī)定的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。 

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潔凈室的測試: 
1、送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。 


2、各區(qū)之間的氣流控制:為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測:

(1)各區(qū)間的壓差正確;

(2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。 


3、過濾器檢漏:對過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會穿過:

(1)損壞了的過濾器;

(2)過濾器與其外框間的縫隙;

(3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。 


4、隔離檢漏:這項(xiàng)測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。 


5、室內(nèi)氣流控制:氣流控制測試的類型要依潔凈室的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈室氣流為紊流,則必須驗(yàn)明室內(nèi)沒有氣流運(yùn)行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈室,則必須驗(yàn)明整個(gè)室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設(shè)計(jì)要求的。 


6、懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述這些測試滿足要求,則最后對粒子濃度和微生物濃度(需要時(shí))進(jìn)行測量,以便驗(yàn)明其符合潔凈室設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。 


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